Мы используем файлы cookie для того, чтобы предоставить Вам больше возможностей при использовании сайта. Продолжая просматривать этот сайт или закрывая это сообщение, вы даете согласие на использование файлов cookie.
23-я Международная выставка электронных компонентов, модулей и комплектующих
14-16 апреля 2020 • Москва, Крокус Экспо

«Технологический модуль критического травления диэлектриков 65-32 нм»

новость
Уважаемые участники и гости выставки, приглашаем Вас и Ваших коллег посетить презентацию передового оборудования плазменного травления диэлектриков.

Организатор — Компания АО «НПП ЭСТО».

Время проведения: 15 апреля, 16:00 — 17:00, Конференц-зал № 3 в рамках деловой программы выставки ExpoElectronica / ElectronTechExpo 2019.

Что Вы узнаете из презентации:

Компания ЭСТО разработала передовой (front-end) 200 мм этчер (оксид кремния, нитрид, low-k, полимеры, p-Si, TSV и др.) XORS-200A с перекрытием диапазона всех процессных параметров, не достижимым ни для какой иной промышленной системы на рынке.

Основой технологического модуля является уникальная процессная камера плазмохимического травления диэлектриков на основе узкозазорного индуктивного плазменного источника ГРУВИ, проверенного в современном 300 мм массовом производстве.

eteteeete.jpgБазовая конфигурация реакторов позволяет создать полную линейку плазмохимического оборудования и достичь высокой экономической эффективности машиностроительного производства и универсальности технологий.

— Уникальным сочетанием свойств «Груви ИСП» является его способность независимо и одновременно задавать как физические, так и химические условия процесса в радиальном направлении.

— Это единственный в мире промышленный источник, позволяющий одновременно осуществлять локальный контроль плотности плазмы и ее химического состава по радиусу пластины.

— Система пригодна для скоростного удаления фоторезиста после травления, а также имеет функцию собственной очистки камеры. Имеется возможность импульсного управления как плотностью плазмы, так и энергией положительных ионов.

— Оригинальный плазменный источник является единственным в мире плоским узкозазорным (30-40 мм) генератором технологической индуктивно связанной плазмы (ИСП), известным как «Groovy ICP»

Не забудьте порекомендовать посещение презентации своим коллегам и партнерам по отрасли.

Смотрите полное расписание деловой программы>>
Посещение всех мероприятий в рамках технической деловой программы свободное при наличии электронного билета>>

За более подробной информации о презентации обращайтесь:

Гармашов Дмитрий Николаевич
Руководитель отдела продаж
АО «НПП «ЭСТО»
тел.:8 (495) 981-91-69
e-mail:
garmashov@nppesto.ru
www.nppesto.ru